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フォトレジスト
幅広い用途を対象とするポジ型KrFフォトレジスト
GKRシリーズは、幅広い用途を対象とするポジ型KrF系フォトレジストです。
ArF（193nm）
ポジ型ドライおよび液浸回路パターン形成、ネガ型現像（NTD）用材料
i線・g線・広帯域
0.30µm以下から1.0µmを超える解像度まで適用可能な中波紫外線感度フォトレジスト拡張シリーズ
ネガ型（ポリイソプレンベース）
ネガ型、ポリイソプレンベース系レジストのマルチシリーズ
電子ビーム
幅広い電子ビーム画像形成の用途に対応したポジ型およびネガ型レジストシリーズ
