フォトレジスト製品ラインには、広帯域、g線、i線、248nm、193nm(ドライおよび液浸)、電子ビーム、EUV(極端紫外)テクノロジーなど、幅広い用途があります。その製品群には、ダブルパターニングなどの次世代ニーズに対応する独自のネガ型現像レジストシステムも含まれています。
フォトレジスト製品ラインには、広帯域、g線、i線、248nm、193nm(ドライおよび液浸)、電子ビーム、EUV(極端紫外)テクノロジーなど、幅広い用途があります。その製品群には、ダブルパターニングなどの次世代ニーズに対応する独自のネガ型現像レジストシステムも含まれています。