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シリコンウェーハ

フォトレジスト

電子ビーム : 概要

幅広い電子ビーム画像形成の用途に対応したポジ型およびネガ型レジストシリーズ

製品ラインアップ

  • FEPシリーズ
  • XFPシリーズ
    FEPシリーズおよび、XFPシリーズの製品は、電子ビーム照射を使用したポジ型画像形成を必要とするさまざまな用途に適しています。
  • FENシリーズ
  • XFNシリーズ
    FENシリーズおよび、XFNシリーズの製品は、電子ビーム照射を使用したネガ型画像形成を必要とするさまざまな用途に適しています。

特長

  • 優れた解像度
  • プロセスウィンドウが広い

お問い合わせ

製品・サービスに関するお問い合わせ・資料請求は、富士フイルム エレクトロニクスマテリアルズ(株)で承っております。電話またはウェブより、お気軽にお問い合わせください。

本社

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静岡事業所・静岡工場

〒421-0302
静岡県榛原郡吉田町川尻4000

0548-32-7008

大分工場

〒870-0941
大分県大分市大字下郡字中新地3410-2

097-569-9689

熊本工場

〒869-1101
熊本県菊池郡菊陽町津久礼2900

096-340-9200