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シリコンウェーハ

フォトレジスト

電子ビーム

幅広い電子ビーム画像形成の用途に対応したポジ型およびネガ型レジストシリーズ

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優れた解像度
プロセスウィンドウが広い

製品ラインアップ

FEPシリーズ

FEPシリーズの製品は、電子ビーム照射を使用したポジ型画像形成を必要とする様々な用途に適しています。

FENシリーズ

FENシリーズの製品は、電子ビーム照射を使用したネガ型画像形成を必要とする様々な用途に適しています。