ラインアップ
FUJIFILM干渉計は、サンプルの材質によらず、研磨面(鏡面)であればほとんど非接触観測が可能です。
また、干渉縞を自動的に解析し数値化する縞解析装置も揃っており、使いやすさを追求した高機能・高性能計測システムとなっております。
高精度平面板(ガラス、金属、セラミックなど)の平面度測定、光学レンズ、鋼球、プラレンズの面精度測定など、さまざまな用途に対応する干渉計をご用意しておりますので、高精度測定にぜひお使いください。

平面測定システム
富士フイルム平面測定システムは、ガラス・金属・セラミックなどの高精度な平面板をはじめ、さまざまな平面形状のものをナノメータオーダーで測定できる光学業界のデファクトスタンダードです。
また、非接触による測定で被検体にキズを付けることなく、簡単に合否判定ができます。
ガラス系

- カバーガラス(スマートフォン用など)
- プリズム(色分解光学系など)
- 半導体マスク基盤
- 各種フィルター
- 液晶用ガラス

干渉縞
金属系

- 金型
- アルミディスク

干渉縞
その他

- シリコンウェーハ(電子機器用半導体デバイス用)
- ハードディスク用基板
- その他(蛇口用部品など)

干渉縞
製品名 | 測定対象 | 有効光束径(mm) | 基準面精度 | 拡大倍率 |
---|---|---|---|---|
平面・透過波面 | φ60 | λ/20 | ×1 | |
平面・透過波面 | φ102 φ150 | λ/20 | ×1~×8.6 | |
φ102/φ150レーザー干渉計 G102S | 平面・透過波面 | φ102 φ150 | P-V値 32nm | ×1~×6 |

球面測定システム
富士フイルム球面測定システムは、レンズ・鋼球・型などの高精度な球面をはじめ、さまざまな球面形状のものをナノメータオーダーで測定できる光学業界のデファクトスタンダードです。
また、非接触による測定で被検体にキズを付けることなく、簡単に合否判定ができます。
ガラス系

- 各種球面レンズ
(デジタルカメラ、車載、セキュリティ、センサー、コンタクトレンズ、複写など)

干渉縞
金属系

- 鋼球
- ベアリング
- 型(最大φ60mm程度)

干渉縞
その他

- プラ用型(コンタクトレンズなど)
- 各種フィルター

干渉縞
製品名 | 測定対象 | 有効光束径(mm) | 基準面精度 | 拡大倍率 |
---|---|---|---|---|
球面・透過波面 | φ60 | λ/20 | ×1 | |
ニュートン縞検査装置 F601FCII | 球面 | φ60 | λ/20 | ×1 |

縞解析装置
干渉計で得られた干渉縞を解析し、表面形状や透過波面形状を数値化、ビジュアル化することで、測定結果を詳細分析することができるため、開発や品質管理の向上に貢献します。
製品名 | 表示項目 | 解析画素数 | その他の機能 |
---|---|---|---|
P-V値 | 256 × 256 | データ保存 |