高精度な解析を必要とする干渉計に
干渉計で得られた干渉縞を解析し、表面形状や透過波面形状を数値化、ビジュアル化することで、測定結果を詳細分析することができるため、開発や品質管理の向上に貢献します。
- P-V値（Peak to Valley）
測定した被検体で最も高い点（Peak）と最も低い点（Valley）の差を表示。 - RMS値（Root Mean Square）
各ポイントの測定値を二乗した値の平均値の平方根 - 低モジュレーション
被検体のコントラストがよくない時に表示される値。 - 輝度飽和点
光量が高いため干渉計のCCDカメラがサチュレーションを起こした画素を表示します。 - 表示単位
μm ： 10-3mmのことです。
nm ： 10-6mmのことです。
fringe ： 干渉縞何本に相当するかを表します。
wave ： 波長の何倍に相当するかを表します。 - 補正
傾き補正、傾き&パワー補正など選択された補正状況を表示。
主な仕様
- 表示項目
P-V値、RMS値、鳥瞰図、等高線図、断面図、ヒストグラム、ザイデル収差、ゼルニケ多項式係数、他
- 解析画素数
256×256・512×512
- AD変換
10 bit
- その他の機能
データ保存、合否判定、Code V出力、データサブトラクション
- 構成品目
パソコン、LCD、カラープリンタ、パソコンラック、フリンジスキャンアダプター
- 寸法
約700×700×1500mm（ラック含む）
- 質量
約70kg(ラック含む)
- 電源
AC100V 50／60Hz 5A
表示例
鳥瞰図
高い視点から見下ろしたように描いた図で、被検体全体の高い点と低い点を色分けして表示することにより詳細形状を確認することができる。赤い点は最も高い点、青い点は最も低い点となります。
断面図
X・Y・円周・２点間の各断面図グラフィックスを表示します。
等高線図
等高線図グラフィックスを表示します。
縞画像
干渉計で測定した干渉縞画像が表示されます。
