裏面ノイズキャンセルも可能
裏面反射の影響を除去する新方式を採用
厚さ0.1mm以上の平行平面ガラスの測定が可能
スイッチの切換えにより通常のレーザー干渉計としても使用可能
- φ102mm高精度平面板（ガラス、金属、セラミック等）の平面度測定、透過波面測定。
- ズームレンズ内蔵により小口径被検体も測定可能。
- コリメーターレンズ*を交換することにより最大φ150mmまでの被検体を測定可能。
- リモートコントロールが付いており、アライメント切替、光量調整、ズーム調整、フォーカス調整が簡単に調整可能。
- G102SはG102をベースに光源部に裏面反射の影響を除去する方式を採用。そのため、薄板ガラスや平行平面板など裏面の干渉縞が発生する被検体をG102Sを使用することで、表面形状を正確に測定することが可能。
主な仕様
- 光源
半導体レーザー（クラス1レーザー製品）
- 波長
685nm±15nm
- 形式
フィゾー型干渉方式
- 有効光束径
半導体レーザー（クラス1レーザー製品）
- 測定感度
λ/2（約0.3μm/縞）
- 基準面精度
P-V値で32nm
- 拡大倍率
6倍ズーム
- 寸法
約360×365×1000mm
- 質量
約70kg（本体のみ）
- 電源
AC100V 50／60Hz 2A
構成
- G102S(φ102)平面測定システム
＜標準構成品＞
本体
防振台
液晶モニター
縞解析装置A1
低反射基準板＜別売オプション製品＞
高反射用基準板- G102S(φ150)平面測定システム
＜標準構成品＞
本体
防振台
液晶モニター
縞解析装置A1
低反射基準板＜別売オプション製品＞
高反射用基準板
- * 上記構成品のセット販売となります
