8.6倍ズーム付きで小物部品にも対応。
コンパクト、幅を取らない、簡単リモコン操作（フォーカス、光量調整、アライメント切替え、ズーム）
- φ102mm高精度平面板（ガラス、金属、セラミック等）の平面度測定、透過波面測定。
- ズームレンズ内蔵により小口径被検体も測定可能。
- コリメーターレンズ※を交換することにより最大φ150mmまでの被検体を測定可能。
- リモートコントロールが付いており、アライメント切替、光量調整、ズーム調整、フォーカス調整が簡単に調整可能。
主な仕様
- 光源
He-Neレーザー（クラス1レーザー製品）
- 波長
632.8nm
- 形式
フィゾー型干渉方式
- 有効光束径
φ102mm
φ150mm- 測定感度
λ/2（0.3μm/縞）
- 基準面精度
λ/20
- 拡大倍率
8.6倍ズームレンズ
- 寸法
約305×365×765mm
- 質量
約56kg
- 電源
AC100V 50／60Hz 2A
構成
- G102(φ102) 平面測定システム
＜標準構成品＞
本体
防振台
液晶モニター
低反射基準板＜別売オプション製品＞
高反射用基準板- G102(φ150)平面測定システム
＜標準構成品＞
本体
防振台
液晶モニター
低反射基準板＜別売オプション製品＞
高反射用基準板
- * 上記構成品のセット販売となります
