コア技術

MEMS技術

特徴ある圧電膜を応用した機械要素部品を設計／製造する技術

圧電材料に関するナレッジと製膜／微細加工／高精度実装技術の融合により、迅速かつニーズにマッチしたMEMS設計・デバイス製造が可能

富士フイルムの圧電材料の特長

優れた電圧変位応答のリニアリティ
分極処理が不要
成膜直後から使用可能、キュリー点（340℃）昇温後も特性戻る
均一性・再現性の高い成膜

8インチ圧電薄膜ウェハ

高圧電定数と高耐久性をハイレベルで両立

富士フイルムのニオブ添加PZTと、A社スパッタPZT、B社スパッタPZT、C社ゾルゲルPZTの圧電定数を比較した棒グラフ。富士フイルムのPZTが圧電定数d31が220であり、A～C社と比べて最も高い値を示している。

駆動パルス数に対する変位量の推移を示したプロット。10^11回のパルス駆動後も変位の劣化がないことを示している。

構造：従来のPZTに高い濃度でNbをドープ（特許取得済）

上側にニオブ添加PZTの結晶構造、下側に従来バルク品・当社薄膜それぞれの断面SEM像と、分極方向の模式図を示している。ニオブ添加PZTの結晶構造は、結晶格子の中央に、本来ジルコニウムもしくはチタンが入る部分に、ニオブが入った構造。バルク品はランダムな結晶粒が集まった構造であり、分極方向はバラバラである。これに対し、当社薄膜は、膜厚方向に延びる結晶の柱が集まった構造をしており、分極方向は膜厚方向に揃っている。

インクジェットヘッドへの適用

逆圧電効果を利用して、高密度にノズルを2次元配列しコンパクトで長尺な高解像度のプリントヘッドを実現

左側に、圧電膜を使ったインクジェットの模式図。圧電膜がインクを押し出すことで、高粘度なインクが吐出される。右側に、圧電膜の断面図が示されている。緻密な柱状の結晶が寄り集まった構造。

マイクロミラーへの適用

従来の圧電膜では不可能であった性能のデバイスを実現

圧電膜を使ったマイクロミラーの写真および動作の様子を表す模式図を示している。マイクロミラーは、光を反射するミラー部と、そのミラーを高速で傾き運動させるための駆動源で構成されている。ミラーが光を反射することで、光をスキャンできる。

粒子形成技術

ビルドアップで粒子を形成する技術

機能性分子技術

有機化合物の分子構造を自在に変換、不可能を可能にする低分子を製造する技術

機能性ポリマー

有機化合物の分子構造を自在に変換、不可能を可能にするポリマーを製造する技術

酸化還元制御技術

有機化合物/無機化合物の連続的な反応をコントロールする技術

ナノ分散技術

非混和性の物質を安定的に混ぜ合わせ、素材が持つ多彩な力を発揮させる技術

精密塗布技術

単層/多層の塗布膜を、大面積で均一に形成する技術

製膜技術

単層/多層/3次元構造のフィルムを成形する技術

精密成形技術

高精度な金型へ材料を精密に転写、固化する技術

撮像技術

被写体像をデジタルデータに変換し、制御する技術

システム設計

高画質な画像を、より速く確実に提供する技術

バイオエンジニアリング

生物が元来持つ機能を活用し、予防・診断・治療を実現する技術