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高品質なギャップフィルが可能な、絶縁層形成用の前駆体
Low-k（低誘電率）材料
45/22nmノード以下用の高度な誘電体
誘電体・ドーパント
最先端の分析試験および生産を支える高純度の前駆体
その他の化学品
塩素源、接着促進剤、エッチング液、クリーナー、還元剤
ケミカルデリバリーシステム（CDS）ソリューション
多くの化学品に適合する体系で設計されたケミカルデリバリーシステム
温度調節器
容易なフロントローディングを備え、前駆体の温度を精密に制御可能
