CVD前駆体・ケミカルデリバリーシステム

超高純度CVDおよび薄膜化学薬品の全範囲、および高純度供給システムは半導体業界にコスト削減ソリューションと次世代技術を提供するために設計されています。
富士フイルムは、OEMとエンドユーザーにとって優れたパートナーになることを目指しています。

• 富士フイルムは、新規の超高純度化学物質をOEMやエンド ユーザーに迅速に提供できる独自の分離技術と専門知識を開発しました。
• 強力なプロセス制御と高度な分析機能を組み合わせた最先端のコンテナ洗浄により、工場でのロット間の一貫性が保証されます。
• 富士フイルムは、業界のニーズにこたえる幅広い薄膜化学薬品を提供しています。

• プロセス用の機器のトータルソリューションを提供します。
• すべてのOEMツール用のカスタムインターフェイス、タッチスクリーン ユーザーインターフェイス、品質を重視した顧客専用の設計、および非常に使いやすいソフトウェアを備えています。またオープンアーキテクチャであり、特許は一切含まれていません。キャビネットは標準的な産業用容器で使用できます。