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温度制御パネル

温度調節器 : 概要

容易なフロントローディングを備え、前駆体の温度を精密に制御可能

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TC 2000は、処理中の前駆体温度を正確に制御し、安定した蒸気圧を保証します。

製品ラインアップ

TC2000™ - 温度コントローラー

3つの温度範囲
- CH - 冷却／加熱 15˚C～40˚C
- H - 加熱 35˚C～70˚C
- HH - 超高温加熱 55˚C～90˚C
3つのハードウェア構成
- クラシック - スタンドアロン
- R - リモートエレクトロニクス
- RM - ラック搭載型