- 前面からのフルアクセス
- スライド式スケール
- 個別化された電子機器
- キャビネット上部開口部から簡単にアクセス可能
- 化学検証
- こぼれ検出
- 手順を表示するソフトウェア
- 自動化されたパージ
- パスワードで保護された操作モード
- オープンアーキテクチャで、プロセスや容器の特許は一切含まれていない
- サプライヤーの容器と連携して使用できる
- 1.2～200リットル容器サイズに対応
- ロジック、DRAM、ASIC、DSPなどに使用される
- すべての主要なOEMツールと併用できる
- 多くの主要エンドユーザーにおいて最も一般的な方法
- 世界的なプレゼンス
- Genstream® 3000包括的高度ケミカルデリバリーシステム
日本
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半導体業界にコスト削減ソリューションと次世代技術を提供するために設計された、超高純度CVDおよび薄膜化学品ならびに高純度ケミカルデリバリーシステム
