富士フイルムの化学増幅系PBO製品は、高い信頼性と低コストを実現します。
製品ラインアップ
- FB5000シリーズ
- FB5000シリーズ: 化学増幅型のPBO前駆体で、光画像形成可能なポジ型材料であり、水性現像が可能です。バッファーコート、RDL（再配線層）、およびパッシベーション層用に最適化されています。
特長
- PBOケミストリーをベースにした高コントラストのポジ型材料
- g線、i線、またはブロードバンド光の露光装置を使用した光画像形成
- 吐出量削減が可能な低粘度
- 高い信頼性を実現する優れた機械特性
- 高感度、少ない膜減り（dark film loss）。高いスループットを実現
- NMP（N-メチル-2-ピロリドン）フリー
