富士フイルムは、ポリイミドおよびPBO材料と併用するための豊富な化学薬品を取り揃えています。
製品ラインアップ
- QZ 3501：ポリイミド現像液、エッジビード除去剤およびバックリンス液などの多用途溶剤用に特別に設計されています。
- QZ 3601：非常に高純度のポリイミド現像液、エッジビード除去剤およびバックリンス液などの多用途溶剤用に特別に設計されています。超低メタル不純物およびパーティクルの仕様です。
- HTR-D2：ポリイミド現像液、エッジビード除去剤およびバックリンス液として使用でき、また、富士フイルムのネガ型ポリイミドのパターン形成するためにRER 600と併用するように配合されています。
- RER 600：富士フイルムのネガ型ポリイミドやその他のフォトポリマーを現像するためにHTR-D2現像液と組み合わせて使用するように設計された高純度リンス液です。RER 600は、富士フイルムのPBO材料の、バックリンス液、エッジビード除去剤としても使用されます。
- OPD 4262：高純度界面活性剤を含有しているTMAH（水酸化テトラメチルアンモニウム）ベースの水系PBO現像液であり、富士フイルムのPBOおよびフォトレジスト製品用に最適化されています。
