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フロントエンド用CMPスラリー : 用途

富士フイルムのフロントエンド用CMPスラリーは、High-Kメタルゲート、高度な誘電体、3次元FinFETトランジスタ、およびコンタクト用などの高度なトランジスタ技術を利用するデバイス向けに設計されています。広範囲のプロセスと技術要件を満たすために、さまざまな製品プラットフォームが利用可能です。

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富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの先端フロントエンドCMPスラリーは、デバイス製造の重要な初期段階での使用を想定して設計されており、制御された方法で材料を除去し、量産以降のステップに理想的な表面を提供します。