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レジストのエッジビード除去(EBR)、再加工、リンスおよびプリウェット用途の幅広い特殊な溶剤ブレンド。高度なリソグラフィプリウェット用途に対応した超高純度溶剤。
現像液
ポジ型およびネガ型レジストシステム用の金属イオン含有(MIC)および金属イオンフリー(MIF)現像液を幅広く取り揃えています。
フォトレジスト剥離液
ポジ型およびネガ型フォトレジスト除去用の溶剤系剥離液