フォトレジスト用途では、精密なレジストのエッジビード除去(EBR)が要求されています。そこで当社は、純度、パッケージ、環境保護に関する業界標準を維持しながら、世界クラスのエッジビード除去を実現するEBRソリューションを開発しました。
- 製品の純度は、最新の分析ツールを用いて継続検証しています。
- 米国、欧州、アジアの各拠点の工場で製造しています。
- パッケージのオプション:
- 4リットルボトル4本
- 200リットルのドラム缶(1wayまたはリターナブル)
- 1000リットルのIBC
- バルクデリバリー
コア製品
- RER 500/550
- RER 600
- RER 650/652
- RER 800
ネガトーンイメージング(NTI)システムの現像液およびリンス液
- FN-DP001
- FN-RP002
リンス1(現像洗浄後)
- プリウェット用途に対応した超高純度材料