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ポジ型およびネガ型レジストシステム用の金属イオン含有（MIC）および金属イオンフリー（MIF）現像液を幅広く取り揃えています。
溶剤
レジストのエッジビード除去（EBR）、再加工、リンスおよびプリウェット用途の幅広い特殊な溶剤ブレンド。高度なリソグラフィプリウェット用途に対応した超高純度溶剤。
フォトレジスト剥離液
ポジ型およびネガ型フォトレジスト除去用の溶剤系剥離液
