イメージセンサー(IS)およびウェーハレベルレンズ(WLL)アプリケーション用の遮光およびブラックマトリックスレジスト
特徴 | 角度依存性なし(吸収タイプ) 低膜厚と高リソグラフィー特性 可視光域から近赤外域までの高い遮光性能 膜厚が薄く均一性が良い |
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スペクトル | 可視光域および近赤外 光域(NIR) |
透過率 | ノンカーボンブラック(NCB):300-1800nm まで高遮光・低反射率 カーボンブラック:300-700nm まで高遮光・低反射率 |
露光量 | 50~2500mJ/cm2 (i-line) |
信頼性 | 優れた耐熱性と耐光性 |
- SK-7000シリーズ
- SK-8010シリーズ
- SK-9000シリーズ