Exemples d’application pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs ou pour les semi-conducteurs

Vérification de la répartition de la lumière UV irradiée sur un masque photographique ou sur une tranche. UVSCALE change la couleur de sa surface en fonction de la quantité de lumière UV, ce qui vous permet de confirmer sa répartition sur toute la surface en un coup d’œil. UVSCALE vous aide donc à vérifier les dysfonctionnements d’une lampe UV.

Les produits en céramique tels qu’un mandrin électrostatique ou un dispositif chauffant en céramique sont fabriqués suivant un processus de stratification par compression ; cependant, le réglage de ces produits en céramique s’avère très difficile en raison de leur forme pulvérulente. D’autre part, le parallélisme élevé d’un mandrin électrostatique ou d’un dispositif chauffant en céramique est essentiel pour qu’une tranche puisse les absorber. Les fabricants de produits en céramique utilisent donc PRESCALE pour vérifier le parallélisme de leurs produits ou pour maintenir leurs qualités.

• * L’image suivante correspond au cas d’un mandrin électrostatique.

Dans les processus de dépôt et de gravure, une tranche absorbe un mandrin électrostatique et est chauffée à travers un mandrin électrostatique pendant ces processus. Le parallélisme d’un mandrin électrostatique affecte directement la conductivité de la chaleur entre une tranche et un mandrin électrostatique, ce qui peut avoir des effets néfastes sur la qualité des semi-conducteurs. Ainsi, certains fabricants de semi-conducteurs vérifient la pression de contact entre eux avec PRESCALE.

PRESCALE est utilisé pour développer, améliorer et/ou entretenir des bras robotiques utilisés dans les usines. A l’aide de PRESCALE, les ouvriers peuvent corréler sa répartition ou sa densité de couleur avec les dommages causés à la tranche et ils peuvent développer et améliorer leurs produits en utilisant les données de la corrélation.

PRESCALE est utilisé pour recueillir des données afin de développer et d’améliorer les équipements de CMP ou pour assurer leur fonctionnement dans les usines. PRESCALE est utilisé afin de corréler sa répartition et sa densité de couleur avec les dommages causés à la tranche, il est donc possible de développer et d’améliorer leurs produits en utilisant les données de la corrélation.

PRESCALE est utilisé pour vérifier si la répartition de la pression est correcte ou non. En particulier, certains fabricants de semi-conducteurs le font pour vérifier leurs équipements, en cas de détection de certains défauts dans leurs produits pendant le processus back-end.

UV scale est utilisée pour vérifier la répartition de la quantité totale de lumière UV irradiée. Si la lumière UV a suffisamment irradié une bande de découpage en dés, cela l’empêche de se décoller de la tranche, ce qui pourrait l’endommager. Il est donc très important de vérifier la répartition de la lumière UV sur toute la surface d’une bande de découpage en dés.

PRESCALE est utilisé pour recueillir des données afin de développer et d’améliorer la buse d’aspiration ou pour assurer son fonctionnement dans les usines. PRESCALE peut corréler sa répartition et sa densité de couleur avec les dommages causés à la tranche ; il peut également permettre de développer et d’améliorer les produits en utilisant les données.

PRESCALE est utilisé pour recueillir les données de pression de serrage afin de développer des équipements.

PRESCALE est utilisé pour vérifier la distribution de la pression et la plage de pression dans les équipements de moulage. Les fabricants d’équipements de moulage utilisent ce film pour inspecter la qualité de leurs équipements avant de les expédier, ou ils le soumettent à leur client en tant que certification.

PRESCALE est utilisé pour indiquer la répartition de la pression pendant un processus de stratification d’une feuille verte lors de la fabrication de substrats rigides

PRESCALE est utilisé pour mesurer la répartition de la pression dans les contre-colleuses sous vide. Les fabricants de contre-colleuses sous vide utilisent ce film pour inspecter la qualité de leurs machines avant l’expédition, pour inspecter les machines travaillant dans les usines de leurs clients ou pour soumettre des films en tant que certifications.

PRESCALE est utilisé pour vérifier la distribution de la pression du PPI (Press Pack IEGT). Il s’agit de l’une des inspections de qualité des fabricants de PPI.