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La pression devient de plus en plus importante dans le domaine de la fabrication des semi-conducteurs en raison de leur miniaturisation. Les fabricants d’équipements et de matériaux de fabrication ainsi que les fabricants de semi-conducteurs ont commencé à utiliser PRESCALE dans diverses applications telles que la « mesure de la pression de polissage dans un équipement de planarisation mécano-chimique (CMP) » ou la « vérification de la répartition de la pression d’une presse de stratification dans la fabrication d’un mandrin électrostatique ou d’un dispositif chauffant en céramique » ou la « mesure de la répartition de la pression d’une presse à moule », etc.
Sur cette page, vous découvrirez des applications tout au long du processus de fabrication des semi-conducteurs. Il existe de nombreuses applications en plus des applications présentées, si vous souhaitez mesurer facilement la pression de surface et à faible coût, n’hésitez donc pas à demander nos échantillons.
Procédé
Processus frontal (opération de traitement des tranches)
1. Achat de tranches de silicium
Une tranche de silicium est une pièce en forme de disque de silicium de haute pureté. La taille de la tranche est généralement de 200 mm/300 mm.
Certains fabricants de semi-conducteurs considèrent désormais 450 mm comme une norme de nouvelle génération.
2. Processus de nettoyage
Étant donné qu’il existe différents types de poussière ou d’ions métalliques sur la tranche immédiatement après l’achat, ils sont éliminés avec des produits chimiques acides ou alcalins de haute pureté.
3. Processus de dépôt de film
Le film isolant et le film conducteur utilisés pour les semi-conducteurs sont déposés sur une tranche.
4. Processus de photolithographie
Un schéma de circuit est dessiné (transféré) sur une tranche avec un réticule.
Vérification de la répartition de la lumière UV
Vérification de la répartition de la lumière UV irradiée sur un masque photographique ou sur une tranche. UVSCALE change la couleur de sa surface en fonction de la quantité de lumière UV, ce qui vous permet de confirmer sa répartition sur toute la surface en un coup d’œil. UVSCALE vous aide donc à vérifier les dysfonctionnements d’une lampe UV.
5. Processus d’implantation ionique
Certaines impuretés telles que le phosphore et le bore qui déterminent les caractéristiques électriques (type P, N) des semi-conducteurs sont implantées dans la tranche.
6. Processus de gravure
Les films déposés sont retirés à l’exception des films sous le modèle du registre.
Vérification de la répartition de la pression d’une presse de stratification pendant la fabrication de mandrins électrostatiques et de dispositifs chauffants en céramique.
Les produits en céramique tels qu’un mandrin électrostatique ou un dispositif chauffant en céramique sont fabriqués suivant un processus de stratification par compression ; cependant, le réglage de ces produits en céramique s’avère très difficile en raison de leur forme pulvérulente. D’autre part, le parallélisme élevé d’un mandrin électrostatique ou d’un dispositif chauffant en céramique est essentiel pour qu’une tranche puisse les absorber. Les fabricants de produits en céramique utilisent donc PRESCALE pour vérifier le parallélisme de leurs produits ou pour maintenir leurs qualités.
- * L’image suivante correspond au cas d’un mandrin électrostatique.
Mesure de la pression de contact entre une tranche et un mandrin électrostatique.
Dans les processus de dépôt et de gravure, une tranche absorbe un mandrin électrostatique et est chauffée à travers un mandrin électrostatique pendant ces processus. Le parallélisme d’un mandrin électrostatique affecte directement la conductivité de la chaleur entre une tranche et un mandrin électrostatique, ce qui peut avoir des effets néfastes sur la qualité des semi-conducteurs. Ainsi, certains fabricants de semi-conducteurs vérifient la pression de contact entre eux avec PRESCALE.
Mesure de la répartition de la pression de contact et de la plage de pression sur un bras robotique
PRESCALE est utilisé pour développer, améliorer et/ou entretenir des bras robotiques utilisés dans les usines. A l’aide de PRESCALE, les ouvriers peuvent corréler sa répartition ou sa densité de couleur avec les dommages causés à la tranche et ils peuvent développer et améliorer leurs produits en utilisant les données de la corrélation.
7. Processus de dépôt de film
Une tranche est recouverte de films d’isolation qui séparent les câblages couche par couche.
8. Processus de planarisation mécano-chimique
La surface d’une tranche est polie et aplanie afin de faciliter les processus ultérieurs.
Mesure de la pression de polissage d’un équipement de planarisation mécano-chimique (CMP)
PRESCALE est utilisé pour recueillir des données afin de développer et d’améliorer les équipements de CMP ou pour assurer leur fonctionnement dans les usines. PRESCALE est utilisé afin de corréler sa répartition et sa densité de couleur avec les dommages causés à la tranche, il est donc possible de développer et d’améliorer leurs produits en utilisant les données de la corrélation.
Processus back-end (processus d’assemblage)
9. Bande de protection de la surface de collage
Un ruban de protection est collé à la surface du circuit ou à une tranche afin de protéger un circuit pendant le broyage.
Vérification de la répartition de la pression en recouvrant une bande de broyage avec une tranche
PRESCALE est utilisé pour vérifier si la répartition de la pression est correcte ou non. En particulier, certains fabricants de semi-conducteurs le font pour vérifier leurs équipements, en cas de détection de certains défauts dans leurs produits pendant le processus back-end.
10. Processus de broyage
La face arrière d’une tranche est broyée pour être entièrement fine.
11. Collage de bande de découpage en dés
Une bande de découpage est collée à une tranche afin de la réparer.
12. Processus de découpage
Une tranche est découpée en de nombreux petits morceaux.
Vérification de la répartition de la lumière UV sur une bande de découpage en dés (UVSCALE)
UV scale est utilisée pour vérifier la répartition de la quantité totale de lumière UV irradiée. Si la lumière UV a suffisamment irradié une bande de découpage en dés, cela l’empêche de se décoller de la tranche, ce qui pourrait l’endommager. Il est donc très important de vérifier la répartition de la lumière UV sur toute la surface d’une bande de découpage en dés.
13. Processus de montage
Une pointe est montée sur un cadre métallique en plomb.
Vérification de la pression de contact entre une tranche et la buse d’aspiration
PRESCALE est utilisé pour recueillir des données afin de développer et d’améliorer la buse d’aspiration ou pour assurer son fonctionnement dans les usines. PRESCALE peut corréler sa répartition et sa densité de couleur avec les dommages causés à la tranche ; il peut également permettre de développer et d’améliorer les produits en utilisant les données.
14. Processus de collage (câblage filaire)
Une pointe est connectée aux électrodes dans le cadre en plomb avec des fils dorés.
Mesure de la pression de serrage
PRESCALE est utilisé pour recueillir les données de pression de serrage afin de développer des équipements.
15. Processus de moulage
Une pointe est encapsulée pour former un assemblage.
Vérification de la pression de moulage d’une machine de moulage
PRESCALE est utilisé pour vérifier la distribution de la pression et la plage de pression dans les équipements de moulage. Les fabricants d’équipements de moulage utilisent ce film pour inspecter la qualité de leurs équipements avant de les expédier, ou ils le soumettent à leur client en tant que certification.
16. Processus de marquage
Le nom du produit ou le nom du fabricant est indiqué sur l’emballage.
17. Processus d’inspection
Les pointes inspectées comme étant de bons produits sont expédiées.
Substrats pour semi-conducteurs
Substrats rigides
Substrats flexibles
Transistors
Mesure de la répartition de la pression pendant un processus de stratification d’une feuille verte lors de la fabrication de substrats rigides.
PRESCALE est utilisé pour indiquer la répartition de la pression pendant un processus de stratification d’une feuille verte lors de la fabrication de substrats rigides
Mesure de la répartition de la pression dans les contre-colleuses sous vide
PRESCALE est utilisé pour mesurer la répartition de la pression dans les contre-colleuses sous vide. Les fabricants de contre-colleuses sous vide utilisent ce film pour inspecter la qualité de leurs machines avant l’expédition, pour inspecter les machines travaillant dans les usines de leurs clients ou pour soumettre des films en tant que certifications.
Vérification de la distribution de la pression du PPI (Press Pack IEGT)
PRESCALE est utilisé pour vérifier la distribution de la pression du PPI (Press Pack IEGT). Il s’agit de l’une des inspections de qualité des fabricants de PPI.
Échantillon gratuit
Nous vous envoyons l’échantillon gratuitement avec les instructions d’utilisation.