La pression devient de plus en plus importante en fabrication de semi-conducteurs en raison de leur miniaturisation. Les fournisseurs d’équipements et matériaux de fabrication et les fabricants de semi-conducteurs ont commencé à utiliser PRESCALE pour diverses applications telles que la mesure de la pression de polissage d’un équipement de polissage mécanique chimique (CMP) ou la « vérification de la distribution de pression d’une presse à plastifier dans la fabrication d’un mandrin électrostatique ou d’un élément chauffant en céramique » ou encore la « distribution de pression de mesure d’une presse de moulage », etc.
Sur cette page, vous découvrirez des applications tout au long du processus de fabrication des semi-conducteurs. Il existe de nombreuses autres applications en plus des applications présentées, si vous souhaitez mesurer votre pression de surface facilement et à faible coût, n’hésitez donc pas à demander nos échantillons.
Procédé
Processus frontal (opération de traitement des plaquettes)
1. Achat de plaquettes de silicium
Une plaquette de silicium est une pièce en forme de disque de silicium haute pureté. La taille de la plaquette est généralement de 200mm/300mm.
Certains fabricants de semi-conducteurs considèrent désormais 450mm comme une norme de nouvelle génération.
2. Processus de nettoyage
Étant donné qu’il existe différents types de poussière ou d’ions métalliques sur la plaquette immédiatement après l’achat, ils sont éliminés avec des produits chimiques acides ou alcalins de haute pureté.
3. Processus de dépôt de film
Le film isolant et le film conducteur utilisés pour les semi-conducteurs sont déposés sur une plaquette.
4. Processus de photolithographie
Un schéma de circuit est dessiné (transféré) sur une plaquette avec un réticule.
Vérification de la distribution de la lumière UV
Vérification de la distribution de la lumière UV irradiée sur un photomasque ou une plaquette. UVSCALE change sa couleur de surface en fonction de la quantité de lumière UV, ce qui vous permet de confirmer la distribution de la lumière UV de toute la surface en un coup d’œil. L’UVSCALE vous aide donc à vérifier les dysfonctionnements d’une lampe UV.
5. Processus d’implantation d’ions
Certaines impuretés telles que le phosphore et le bore qui déterminent les caractéristiques électriques (type P, N) des semi-conducteurs sont implantées dans la plaquette.
6. Processus de gravure
Les films déposés sont retirés à l’exception des films sous le modèle du registre.
Vérification de la répartition de la pression de la presse de laminage dans la fabrication de mandrins électrostatiques et de réchauffeurs en céramique.
Les produits céramiques tels qu’un mandrin électrostatique ou un élément de chauffage en céramique sont fabriqués par un procédé de presse de stratification; cependant, l’ajustement des céramiques est très difficile en raison de leur forme en poudre. D’un autre côté, le parallélisme élevé d’un mandrin électrostatique ou d’un réchauffeur en céramique est essentiel pour qu’une plaquette puisse les absorber. Ainsi, les fabricants de produits céramiques utilisent PRESCALE pour vérifier le parallélisme de leurs produits ou maintenir leurs qualités.
- * L’image suivante est dans le cas d’un mandrin électrostatique.
Mesure de la pression de contact entre une plaquette et un mandrin électrostatique.
Dans le processus de dépôt et de gravure, une plaquette adsorbe un mandrin électrostatique et est chauffée à travers un mandrin électrostatique pendant ces processus. Le parallélisme d’un mandrin électrostatique affecte directement la conductivité de la chaleur entre une plaquette et un mandrin électrostatique, ce qui peut avoir des effets néfastes sur la qualité des semi-conducteurs. Ainsi, certains fabricants de semi-conducteurs vérifient la pression de contact entre eux avec PRESCALE.
Mesure de la distribution de pression de contact et de la plage de pression sur un bras robotisé
PRESCALE est utilisé pour développer, améliorer et/ou entretenir des bras robotisés utilisés dans les usines. Avec l’aide de PRESCALE, les ouvriers d’usine peuvent corréler sa répartition des couleurs ou sa densité de couleur avec les dommages causés à la plaquette, et ils peuvent développer et améliorer leurs produits en utilisant les données de corrélation.
7. Processus de dépôt
Une plaquette est recouverte de films d’isolation qui séparent les câblages par chaque couche.
8. Processus de polissage mécanique chimique
Une surface de plaquette est polie et aplatie afin de faciliter les processus ultérieurs.
Mesure de la pression de polissage d’un équipement de polissage d’une machine chimique (CMP)
PRESCALE est utilisé pour recueillir des données pour développer et améliorer les équipements CMP ou pour maintenir leur fonctionnement dans les usines. Ils utilisent PRESCALE pour corréler sa distribution de couleur ou sa densité de couleur avec les dommages causés à la plaquette, et ils développent et améliorent leurs produits en utilisant les données de corrélation.
Processus back-end (processus d’assemblage)
9. Ruban adhésif de protection de surface à coller
Un ruban de protection est fixé à la surface du circuit ou à une plaquette afin de protéger un circuit pendant le broyage à contre-courant.
Vérification de la répartition de la pression en recouvrant un ruban de meulage arrière avec une plaquette.
PRESCALE est utilisé pour vérifier si la répartition de la pression est correcte ou non. En particulier, certains fabricants de semi-conducteurs le font pour vérifier leurs équipements lorsque certains défauts sont détectés dans leurs produits pendant le processus en arrière-plan.
10. Processus de broyage
La face arrière d’une plaquette est broyée pour être globalement fine.
11. Collage de ruban adhésif en dés
Une bande de découpe est appliquée à une plaquette afin de la réparer.
12. Processus de découpe
Une plaquette est découpée en de nombreux petits embouts.
Vérification de la distribution de la lumière UV sur une bande de découpe (UVSCALE)
L’échelle UV est utilisée pour vérifier la distribution de la quantité totale de lumière UV irradiée. Si la lumière UV s’est irradiée suffisamment sur un ruban d’assèchement, cela empêcherait le ruban de sortir de la plaquette, ce qui pourrait endommager la plaquette. Il est donc très important de vérifier la distribution de la lumière UV sur toute la surface d’une bande d’assèchement.
13. Processus de montage
Une pointe est montée sur un cadre métallique en plomb.
Vérification de la pression de contact entre une plaquette et une buse d’aspiration
PRESCALE est utilisé pour recueillir des données pour développer et améliorer la buse d’aspiration ou pour maintenir leur bon fonctionnement dans les usines. PRESCALE peut corréler sa répartition des couleurs ou sa densité de couleur avec les dommages causés à la plaquette, et aider à développer et à améliorer les produits en utilisant les données.
14. Processus de souadge (soudage par fil)
Une extrémité est connectée aux électrodes dans l’armature de la sonde avec des fils d’or.
Mesure de la pression de serrage
PRESCALE est utilisé pour recueillir les données de pression de serrage afin de développer des équipements.
15. Processus de moulage
Une pointe est moulée pour être un emballage avec un encapsulant résineux.
Vérification de la pression de moulage d’une machine de moulage
PRESCALE est utilisé pour vérifier la distribution de pression et la plage de pression dans les équipements de moulage. Les fabricants d’équipements de moulage utilisent ce film pour inspecter la qualité de leurs équipements avant de les expédier ou pour soumettre ce film à leur client en tant que certification.
16. Processus de marquage
Le nom du produit ou le nom du fabricant est indiqué sur l’emballage.
17. Processus d’inspection
Les pointes inspectées comme étant de bons produits sont expédiées.
Substrats semiconducteurs
Substrats rigides
Substrats flexibles
Transistors
Mesure de la distribution de la pression pendant un processus de stratification d’une feuille verte dans la fabrication de substrats rigides.
PRESCALE est utilisé pour indiquer la distribution de la pression pendant un processus de laminage d’une feuille verte dans la fabrication de substrats rigides.
Mesure de la distribution de la pression des machines de laminage sous vide
PREACALE est utilisé pour mesurer la distribution de la pression des machines de stratification sous vide. Les fabricants de machines de laminage sous vide utilisent ce film pour inspecter la qualité de leurs machines avant l’expédition, inspecter les machines travaillant dans les usines de leurs clients ou soumettre des films en tant que certifications.
Vérification de la distribution de pression du PPI (Press Pack IEGT)
PRESCALE est utilisé pour vérifier la distribution de la pression du PPI (Press Pack IEGT). Il s’agit d’une inspection de qualité pour les fabricants de PPI.
Échantillon gratuit
Nous vous envoyons l’échantillon gratuitement avec les instructions d’utilisation.