半導体製造プロセスの基幹材料の生産設備を本格稼働

富士フイルム株式会社（本社：東京都港区、代表取締役社長・CEO：後藤 禎一）は、本日、熊本拠点にて半導体製造プロセスの基幹材料であるCMP^※1スラリーの生産設備を本格稼働させました。本設備は、電子材料事業の中核会社である富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ株式会社（本社：神奈川県横浜市、代表取締役社長：小林 茂樹、以下FFEM）が、熊本県に立地しディスプレイ材料を生産する富士フイルムマテリアルマニュファクチャリング株式会社九州エリア（以下FFMT九州）に約20億円を投資して新設したものです。
当社は、FFMT九州を半導体材料の熊本拠点として始動させ、ディスプレイ材料のみならず半導体材料も生産し安定供給を図っていきます。なお、CMPスラリーの国内生産は、当社として今回が初めてとなります。

5G/6Gによる通信の高速・大容量化、自動運転の拡大、AIやメタバースの普及などを背景に、半導体の需要拡大と高性能化が見込まれています。このような中、半導体製造プロセスで使用する半導体材料では、より高品質・高性能な製品を安定的に供給することがますます重要となっています。
CMPスラリーは、硬さの異なる配線や絶縁膜が混在する半導体表面を均一に平坦化する研磨剤で、年率10%^※2の市場成長性を有しています。当社は、米国アリゾナ州・韓国天安市のほか、台湾の新竹市にCMPスラリーの生産拠点を有し、安定供給と品質に対する高い顧客要求に応え続けることで、CMPスラリーの売上を拡大させています。

今回、FFEMは、ディスプレイ材料の中核生産拠点であるFFMT九州の工場内に、CMPスラリーの最新鋭の生産設備・検査機器を導入し本格稼働させました。新たな設備・機器と、ディスプレイ材料にて顧客の高い品質要求に応えてきたFFMT九州の人材・生産ノウハウなどを組み合わせて、高品質・高性能なCMPスラリーを生産していきます。
今後、当社は、CMPスラリーの国内生産化により国内の顧客への迅速供給を図るとともに、日本が加わり生産能力が拡大した世界4拠点のCMPスラリーの生産体制でグローバルの需要増に応えていきます。
なお、FFMT九州では、イメージセンサー用カラーフィルター材料を生産する最新鋭設備を2025年春に稼働させ、半導体材料の生産品目を拡充する計画です。

当社は、フォトレジストやプロセスケミカル、ポリイミドなど半導体製造の前工程から後工程までのプロセス材料や、イメージセンサー用カラーフィルター材料をはじめとしたWave Control Mosaic（WCM）を展開しています。これらの幅広い製品と、グローバルでの安定供給体制、高い研究開発力、顧客との強固な信頼関係を強みに事業成長を加速させ、2030年度には電子材料事業で5,000億円の売上を目指します。今後も、最先端の半導体材料を開発・提供していくことで、半導体産業の発展に貢献していきます。

• ※1 Chemical Mechanical Polishing（化学的機械研磨）の略。
• ※2 当社調べ。

• * 記事の内容は発表時のものです。最新情報と異なる場合（生産・販売の終了、仕様・価格の変更、組織・連絡先変更等）がありますのでご了承ください。