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赤、緑、青の液体が満たされた3個のビーカー

クリーナー

アルミニウム合金、銅合金、反射防止層、SiO₂ およびLow-k誘電体上の灰化後含水残渣クリーナー

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幅広いプロセス許容度
スプレーおよびバッチツール用途に適合
ヒドロキシルアミン（HA）溶剤系クリーナーと直接的な純水リンスの場合と比べて、コスト上の利点が大きい
- IPA（イソプロピルアルコール）リンスのケミカルコストの除去
- IPAリンスステップがなくなることによるスループットの向上
安全で使いやすい
優れたプロセス機器材料との適合性
優れた金属およびILD（層間絶縁膜）との適合性
パッケージのオプション：
- 4リットルのHDPEボトル
- 200リットルドラム