Übersicht
Die Kapsel verwendet eine PSE-Membran, die sehr positiv aufgenommen wurde. Sie ist klein und liefert eine hohe Durchflussrate und hohe Präzision.
Die Durchflussrate, die der von herkömmlichen einzelnen (1-stufigen) Produkten anderer Unternehmen entspricht, wird mit einem halben (1/2-stufigen) Produkt realisiert.
Die proprietäre dichte Innenschicht der PSE-Membran sorgt für eine zuverlässige Rückhaltung feiner Partikel.
Hauptanwendungen
-
Filtration von gereinigtem Wasser, das von Einzelwafer-Nassreinigungsanlagen verwendet wird
-
Filtration von Chemikalien, die von Einzelwafer-Nassreinigungsanlagen verwendet werden
-
Endspülwasser für Entwickler
Spezifikationen
Tabelle der Leistungsmerkmale
|
Artikel |
Einheit |
Leistung |
Anmerkungen |
||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Porengröße |
µm |
0,1 |
0,2 |
0,45 |
0,1 |
0,2 |
0,45 |
|
|
|
Nenngröße |
|
Q |
H |
|
|||||
|
Größe |
Länge |
mm |
152 |
210 |
*1 |
||||
|
Außendurchmesser |
mm |
93,5 |
|
||||||
|
Maximaler Differenzdruck |
25 ℃ |
MPa |
0,54 (Überdruck) |
|
|||||
|
Hitzebeständigkeit |
MAX ℃ |
40 ℃ |
*2 |
||||||
|
Zu verwendender PH-Bereich |
|
1 - 14 |
*3 |
||||||
- *1 Siehe „Größe und Düsendurchmesser“ unten.
- *2 Kontinuierliche Betriebstemperatur
- *3 Bei Verwendung der Patrone für die chemische Flüssigkeitsfiltration muss eine vorherige Bewertung unter den geplanten Einsatzbedingungen durchgeführt werden.
Material
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Teilbezeichnung |
Material |
|---|---|
|
Gehäuse |
Polypropylen |
|
Elementschutz |
Polypropylen |
|
Kern zentrieren |
Polypropylen |
|
Support |
Polypropylen |
|
Membranfilter |
Polysulfon (asymmetrische Membran) |
Anfängliche Durchflussrate und anfänglicher Druckverlust
Abgekürzter Produktname
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Viertel (1/4 Größe) |
Halb (1/2 Größe) |
|---|---|---|
|
0,1 µm |
PSED10QW1 |
PSED10HW1 |
|
0,2 µm |
PSED20QW1 |
PSED20HW1 |
|
0,45 µm |
PSED45QW1 |
PSED45HW1 |
|
PSED Q |
PSED H |
|
|---|---|---|
|
A |
93,5 |
|
|
B |
92 |
|
|
C |
87 |
|
|
D |
35 |
|
|
E |
35 |
|
|
F |
140 |
196 |
|
G |
86,7 |
|
|
L |
152 |
210 |
|
N-① |
R1/2 |
R3/4 |
|
N-② |
R1/2 |
R3/4 |
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N-③ |
Mit R1/4-Kappe |
|
|
N-④ |
Mit R1/4-Kappe |
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Einheit: mm
- * Einzelheiten zu den Verwendungsmethoden finden Sie in der Bedienungsanleitung, die dem Produkt beiliegt.
- * Das Produkt kann je nach Form und/oder Größe auf Bestellung gebaut werden. Einzelheiten erfahren Sie von Ihrem Vertriebsmitarbeiter.
- * Die technischen Daten können zu Verbesserungszwecken ohne vorherige Ankündigung geändert werden.