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전면 로딩이 간편한 전구체로 정밀한 온도 제어
PV 전구체
다양한 초고순도 화학 물질
분산 장비
벌크 컨테이너에서 리필형 버블러로 화학 물질을 분배하도록 설계된 화학 물질 전달 시스템