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반도체 포토레지스트 전자빔

e-빔 : 개요

다양한 전자빔 이미징 애플리케이션을 위한 포지티브 및 네거티브 톤 레지스트 시리즈

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특징 & 장점

탁월한 해상도
넓은 공정 윈도우

제품 요약

FEP 시리즈

FEP 시리즈 제품은 e-빔 노광 포지티브 톤 이미징이 필요한 다양한 응용 분야에 적합합니다.

FEN 시리즈

FEN 시리즈 제품은 전자빔 노광 네거티브 톤 이미징이 필요한 다양한 응용 분야에 적합합니다.

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