- Al 합금, 반사 방지 층, SiO2 유전체의 비아, 금속 라인, 접합 패드 레벨에서 에칭 잔류물 제거.
- Cu, Low-k, Ultra Low-k 호환성이 있는 다마신 공정에서 에칭 잔여물 제거.
세정제 : 응용
알루미늄 및 구리 합금, 반사 방지 층, SiO2, low-k 유전체의 수성 포스트 애쉬 잔여물 세정제
알루미늄 및 구리 합금, 반사 방지 층, SiO2, low-k 유전체의 수성 포스트 애쉬 잔여물 세정제
