La presión es cada vez más importante en la fabricación de semiconductores debido a la miniaturización de los semiconductores. Bajo esta circunstancia, los fabricantes de equipos de fabricación y materiales, así como los fabricantes de semiconductores, han comenzado a usar PRESCALE en diversas aplicaciones como “medición de la presión de pulido en un equipo de pulido mecánico químico (CMP)” “comprobación de la distribución de presión de una prensa de laminación en la fabricación de un plato electrostático o un calefactor cerámico” o “medición de la distribución de presión de una máquina de moldeado”, etc.
En esta página, presentaremos algunas aplicaciones a lo largo del proceso de fabricación de semiconductores. Por supuesto, hay muchas aplicaciones además de las siguientes, así que, si desea medir la presión superficial fácilmente y a bajo coste, no dude en solicitar nuestras muestras.
Una oblea de silicio es una pieza de silicio de alta pureza con forma de disco. El tamaño de la oblea suele ser de 200mm/300mm.
Algunos fabricantes de semiconductores consideran ahora 450mm como un estándar de próxima generación.
Dado que hay varios tipos de iones de polvo o metal en la oblea inmediatamente después de la compra, se eliminan con ácido de alta pureza o productos químicos alcalinos.
La película aislante y la película conductora usadas para semiconductores se depositan en una oblea.
Se dibuja (transfiere) un patrón de circuito en una oblea con una retícula.
Comprobar la distribución de la luz UV irradiada en una fotomascarilla o una oblea. El UVSCALE cambia el color de su superficie según la cantidad de luz UV y esto le permite confirmar la distribución de la luz UV de toda la superficie de un vistazo. Por lo tanto, UVSCALE le ayuda a comprobar el mal funcionamiento de una lámpara UV.
Algunas impurezas como el fósforo y el boro que determinan las características eléctricas (tipo P, N) de los semiconductores se implantan en la oblea.
Las películas depositadas se eliminan, excepto las películas bajo el patrón.
Los productos cerámicos tales como un plato electrostático o un calefactor cerámico se fabrican a través de un proceso de prensa de laminado; sin embargo, el ajuste de la cerámica es muy difícil debido a su forma de polvo. Por otro lado, el alto paralelismo de un plato electrostático o un calefactor cerámico es esencial para que una oblea los absorba. Por lo tanto, los fabricantes de productos cerámicos usan PRESCALE para comprobar el paralelismo de sus productos o mantener sus cualidades.
- * La siguiente imagen es en caso de un plato electrostático.
En el proceso de deposición y grabado, una oblea adsorbe un plato electrostático y se calienta a través de un plato electrostático durante estos procesos. El paralelismo de un plato electrostático afecta directamente a la conductividad del calor entre una oblea y un plato electrostático, y esto puede causar efectos negativos en la calidad del semiconductor. Por lo tanto, algunos fabricantes de semiconductores comprueban la presión de contacto entre ellos con PRESCALE.
La PRESCALE se usa para desarrollar, mejorar o mantener brazos robóticos que operan en fábricas. Con la ayuda de PRESCALE, los trabajadores pueden correlacionar su distribución de color o densidad de color con el daño a la oblea, y pueden desarrollar y mejorar sus productos usando los datos de correlación.
Una oblea está cubierta con películas aislantes que separan los cables por cada capa.
La superficie de una oblea se pule y aplana para facilitar los procesos posteriores.
La PRESCALE se usa para recopilar datos para desarrollar y mejorar equipos CMP o para mantener su funcionamiento en fábricas. Usan PRESCALE para correlacionar su distribución de color o densidad de color con el daño a la oblea, y desarrollan y mejoran sus productos usando los datos de correlación.
Se coloca una cinta de protección en la superficie del circuito o en una oblea para proteger un circuito durante el amolado posterior.
La PRESCALE se usa para comprobar si la distribución de la presión es correcta o no. En particular, algunos fabricantes de semiconductores hacen esto para comprobar sus equipos cuando se encuentran algunos defectos en sus productos durante el proceso de back-end.
El lado posterior de una oblea se pule para afinarla en su totalidad.
Se aplica una cinta de corte en cuadraditos a una oblea para fijarla.
Una oblea se corta en muchas puntas diminutas.
UV scale se usa para comprobar la distribución de la cantidad total de luz UV irradiada. Si la luz UV se ha irradiado lo suficiente en una cinta de corte en cuadraditos, evitaría que la cinta se saliera de la oblea, lo que podría dañarla. Por lo tanto, es muy importante comprobar la distribución de la luz UV en toda la superficie de una cinta de corte en cuadraditos.
Hay una punta montada en un marco metálico de plomo.
PRESCALE se usa para recopilar datos para desarrollar y mejorar la boquilla de aspiración o para mantener su correcto funcionamiento en fábricas. PRESCALE puede correlacionar su distribución o densidad de color con el daño a la oblea, y ayudar a desarrollar y mejorar productos usando los datos.
Hay una punta conectada a los electrodos del marco del cable con cables dorados.
PRESCALE se usa para recopilar datos de presión de sujeción para desarrollar equipos.
Una punta está moldeada para ser un envase con un encapsulante resinoso.
PRESCALE se usa para comprobar la distribución de la presión y el rango de presión en equipos de moldeado. Los fabricantes de equipos de moldeado usan esta película para inspeccionar la calidad de sus equipos antes de enviarlos o enviar esta película a sus clientes como certificación.
El nombre del producto o del fabricante está marcado en el paquete.
Las puntas inspeccionadas de buena calidad se envían.
La PRESCALE se usa para indicar la distribución de la presión durante un proceso de laminado de una lámina verde en la fabricación de sustratos rígidos.
PRESCALE se usa para medir la distribución de la presión de las máquinas de laminación al vacío. Los fabricantes de máquinas laminadoras al vacío usan esta película para inspeccionar la calidad de sus máquinas antes de enviarlas, inspeccionar las máquinas que trabajan en las fábricas de sus clientes o enviar películas como certificaciones.
PRESCALE se usa para comprobar la distribución de la presión de PPI (Press Pack IEGT). Esta es una de las inspecciones de calidad de los fabricantes de PPI.
Muestra gratuita
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