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Pronta per l’uso per substrati LCD più grandi.
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È stata realizzata una portata pari a circa 2 volte*1 quella dei tradizionali filtri a portata ultra-elevata.
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Ideale per la pulizia di substrati LCD di grandi dimensioni da Gen 8 a Gen 10.
- *1 tipo UXL
La linea comprende 2 tipi di cartucce dalle aree di filtraggio diverse (tipo USL / tipo SXL).
La cartuccia raggiunge una portata straordinariamente elevata equivalente a circa 2 volte la portata ultra-elevata della cartuccia PSE di tipo XL. Viene assicurata una portata di 300 L/min*2 , con una dimensione dei pori di 0,2 μm. (A ΔP = 0,03 MPa)
Lo strato interno denso proprietario della membrana PSE, che presenta una distribuzione ben definita delle dimensioni dei pori, garantisce una ritenzione affidabile delle particelle fini.
La cartuccia si adatta agli alloggiamenti che sono pronti per l'uso con l'O-ring per filtri di tipo AS568-334. Può essere utilizzata a una portata ancora più elevata combinandola con un alloggiamento prodotto da noi.
La robustezza è possibile grazie alla membrana in polisulfone ad alta resistenza e a un corpo principale di nuova concezione.
- *2 Tipo UXL
La cartuccia impiega una membrana con una struttura asimmetrica proprietaria (membrana PSE) che è stata accolta favorevolmente.
Dimostra prestazioni eccellenti nelle seguenti applicazioni che richiedono elevate capacità di ritenzione delle particelle fini, un'elevata portata e una lunga durata.
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Filtrazione dell'acqua di pulizia utilizzata dalle apparecchiature di processo a umido per creare substrati di grandi dimensioni per LCD
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Item |
Unità |
Prestazioni |
Commenti |
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Dimensioni dei pori |
μm |
0,1 |
0,2 |
0,45 |
1,2 |
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Formato |
Lunghezza |
mm |
273 |
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Diametro esterno |
mm |
130 |
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Pressione differenziale massima |
25 °C |
MPa |
0,34 (pressione positiva) |
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Area PH da utilizzare |
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1 - 14 |
*3 |
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- *3 In caso di utilizzo della cartuccia per la filtrazione di fluidi chimici, è necessario effettuare una valutazione preventiva in base alle condizioni d'uso previste.
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Nome della parte |
Materiale |
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Filtro a membrana |
Polisulfone (membrana asimmetrica) |
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Materiale di supporto |
Polipropilene |
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Scatola |
Polipropilene |
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O-ring |
EPDM (standard) |
Dimensioni O-ring: JIS-P65 (AS568-334 o equivalente)
I seguenti 2 tipi di alloggiamenti consentono ai filtri a portata straordinariamente elevata di dimostrare appieno le loro prestazioni.
- FPSUX TE1 (in polipropilene)
- FS6LJM 1-1 50 FET 1 (in acciaio inossidabile)
- *Per informazioni dettagliate sui metodi di utilizzo, consultare il manuale di istruzioni fornito con il prodotto.
- *Il prodotto può essere realizzato su ordinazione, a seconda della forma e/o della taglia. Per ulteriori dettagli, contattare l’agente di vendita locale.
- *Le specifiche sono soggette a modifiche a scopo di miglioramento senza preavviso.