La velocità di flusso equivalente a quella dei singoli prodotti convenzionali (monostadio) di altre aziende è realizzata con un metà prodotto (metà stadio).
Lo strato interno denso brevettato della membrana PSE garantisce una ritenzione affidabile di particelle fini.
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Filtrazione di acqua purificata utilizzata da apparecchiature di pulizia a wafer singolo
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Filtrazione di sostanze chimiche utilizzate da apparecchiature per la pulizia a umido a wafer singolo
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Acqua di risciacquo finale per gli sviluppatori
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Item |
Unità |
Prestazioni |
Commenti |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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Dimensioni dei pori |
μm |
0,1 |
0,2 |
0,45 |
0,1 |
0,2 |
0,45 |
|
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Dimensioni nominali |
|
Q |
H |
|
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Formato |
Lunghezza |
mm |
152 |
210 |
*1 |
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|
Diametro esterno |
mm |
93,5 |
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Pressione differenziale massima |
25 °C |
MPa |
0,54 (pressione positiva) |
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Resistenza al calore |
MAX°C |
40 °C |
2 |
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Area PH da utilizzare |
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1 - 14 |
*3 |
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- *1 Fare riferimento a “Dimensione e diametro dell'ugello” di seguito.
- *2 Temperatura di esercizio continua
- *3 In caso di utilizzo della cartuccia per la filtrazione di fluidi chimici, è necessario effettuare una valutazione preventiva in base alle condizioni d'uso previste.
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Nome della parte |
Materiale |
|---|---|
|
Alloggiamento |
Polipropilene |
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Protezione dell'elemento |
Polipropilene |
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Nucleo centrale |
Polipropilene |
|
Supporto |
Polipropilene |
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Filtro a membrana |
Polisulfone (membrana asimmetrica) |
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Quarto (1/4) |
Metà (1/2) |
|---|---|---|
|
0,1 μm |
PSED10QW1 |
PSED10HW1 |
|
0,2 μm |
PSED20QW1 |
PSED20HW1 |
|
0,45 μm |
PSED45QW1 |
PSED45HW1 |
|
PSED Q |
PSED H |
|
|---|---|---|
|
A |
93,5 |
|
|
B |
92 |
|
|
C |
87 |
|
|
D |
35 |
|
|
E |
35 |
|
|
F |
140 |
196 |
|
G |
86,7 |
|
|
L |
152 |
210 |
|
N-① |
R1/2 |
R3/4 |
|
N-② |
R1/2 |
R3/4 |
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N-③ |
Con tappo R1/4 |
|
|
N-④ |
Con tappo R1/4 |
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Unità: mm
- *Per informazioni dettagliate sui metodi di utilizzo, consultare il manuale di istruzioni fornito con il prodotto.
- *Il prodotto può essere realizzato su ordinazione, a seconda della forma e/o della taglia. Per ulteriori dettagli, contattare l’agente di vendita locale.
- *Le specifiche sono soggette a modifiche a scopo di miglioramento senza preavviso.