Il grado di rimozione delle particelle per un'operazione a passata singola è di 0,05 μm.
La portata subisce una riduzione di solo il 15% rispetto alle cartucce da 0,1 μm attualmente prodotte.
La cartuccia ha le stesse dimensioni delle cartucce precedenti (diametro: 70 mm), per cui non occorre sostituire l'alloggiamento.
Lo strato denso interno peculiare della membrana PSE garantisce che particelle di fino a 0,05 μm siano trattenute in modo affidabile.
La portata subisce una riduzione di solo il 15% circa rispetto alle convenzionali cartucce singole (monostadio) da 0,1 μm.
La struttura peculiare della membrana PSE offre una lunga durata di vita utile.
Poiché la cartuccia utilizza la membrana PSE dalla buona reputazione, è più adatta per le seguenti linee che richiedono la rimozione di particelle ultra fini.
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Filtrazione di acqua purificata per apparecchiature di pulizia nel processo di produzione di wafer da 300 mm
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Filtrazione di sostanze chimiche per apparecchiature di pulizia nel processo di produzione di wafer da 300 mm
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Filtrazione di fluidi di placcatura, sviluppatori, ecc.
Item |
Unità |
Prestazioni |
Commenti |
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Dimensioni dei pori |
μm |
0,05 |
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Formato |
Lunghezza |
mm |
264 |
*1 |
Diametro esterno |
mm |
70 |
||
Pressione differenziale massima |
25 °C |
MPa |
0,54 (pressione positiva) |
|
25 °C |
MPa |
0,34 (pressione negativa) |
||
Resistenza al calore |
℃ |
90 °C |
*2 |
|
Intervallo di pH applicabile |
1 - 14 |
3 |
Nome della parte |
Materiale |
---|---|
Protezione |
Polipropilene |
Nucleo centrale |
Polipropilene |
Supporto |
Polipropilene |
Filtro a membrana |
Polisulfone (membrana asimmetrica) |
O-ring |
EPDM (silicone, Viton) |
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Dimensioni dei pori |
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Tipo M |
Tipo MP |
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Unità di imballaggio |
1 |
PSECM05SPPW1 |
PSECMP05SPPW1 |
12 |
PSECM05SPPW12 |
PSECMP05SPPW12 |