Die Durchflussrate, die der von herkömmlichen einzelnen (1-stufigen) Produkten anderer Unternehmen entspricht, wird mit einem halben (1/2-stufigen) Produkt realisiert.
Die proprietäre dichte Innenschicht der PSE-Membran sorgt für eine zuverlässige Rückhaltung feiner Partikel.
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Filtration von gereinigtem Wasser, das von Einzelwafer-Nassreinigungsanlagen verwendet wird
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Filtration von Chemikalien, die von Einzelwafer-Nassreinigungsanlagen verwendet werden
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Endspülwasser für Entwickler
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Artikel |
Einheit |
Leistung |
Anmerkungen |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Porengröße |
µm |
0,1 |
0,2 |
0,45 |
0,1 |
0,2 |
0,45 |
|
|
|
Nenngröße |
|
Q |
H |
|
|||||
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Größe |
Länge |
mm |
152 |
210 |
*1 |
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|
Außendurchmesser |
mm |
93,5 |
|
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|
Maximaler Differenzdruck |
25 ℃ |
MPa |
0,54 (Überdruck) |
|
|||||
|
Hitzebeständigkeit |
MAX ℃ |
40 ℃ |
*2 |
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Zu verwendender PH-Bereich |
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1 - 14 |
*3 |
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- *1 Siehe „Größe und Düsendurchmesser“ unten.
- *2 Kontinuierliche Betriebstemperatur
- *3 Bei Verwendung der Patrone für die chemische Flüssigkeitsfiltration muss eine vorherige Bewertung unter den geplanten Einsatzbedingungen durchgeführt werden.
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Teilbezeichnung |
Material |
|---|---|
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Gehäuse |
Polypropylen |
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Elementschutz |
Polypropylen |
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Kern zentrieren |
Polypropylen |
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Support |
Polypropylen |
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Membranfilter |
Polysulfon (asymmetrische Membran) |
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Viertel (1/4 Größe) |
Halb (1/2 Größe) |
|---|---|---|
|
0,1 µm |
PSED10QW1 |
PSED10HW1 |
|
0,2 µm |
PSED20QW1 |
PSED20HW1 |
|
0,45 µm |
PSED45QW1 |
PSED45HW1 |
|
PSED Q |
PSED H |
|
|---|---|---|
|
A |
93,5 |
|
|
B |
92 |
|
|
C |
87 |
|
|
D |
35 |
|
|
E |
35 |
|
|
F |
140 |
196 |
|
G |
86,7 |
|
|
L |
152 |
210 |
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N-① |
R1/2 |
R3/4 |
|
N-② |
R1/2 |
R3/4 |
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N-③ |
Mit R1/4-Kappe |
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|
N-④ |
Mit R1/4-Kappe |
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Einheit: mm
- * Einzelheiten zu den Verwendungsmethoden finden Sie in der Bedienungsanleitung, die dem Produkt beiliegt.
- * Das Produkt kann je nach Form und/oder Größe auf Bestellung gebaut werden. Einzelheiten erfahren Sie von Ihrem Vertriebsmitarbeiter.
- * Die technischen Daten können zu Verbesserungszwecken ohne vorherige Ankündigung geändert werden.